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SEMISHARE（森美协尔）
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企业商讯
SEMISHARE（森美协尔）
- 名称：CG真空高低温探针台
- 型号：CG
- 品牌：SEMISHARE
- 描述：CG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内率先自主研发推出的高低温...
产品概要
CG高低温真空探针台是SEMISHARE多年来技术积累的创新成果，同时SEMISHARE也是国内率先自主研发推出的高低温真空探针台，CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着技术优势。
基本信息
| 产品型号 | CG-O-4 | 工作环境 | 高低温真空环境 |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | 操控方式 | 手动探针台 |
| 产品尺寸 | 1**1**530mm | 设备重量 | 约190KG |
应用方向
CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等
技术特点
常见2种应用需要真空测试环境
极低温测试:
晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
- 上一个：E6增强型手动探针台
- 下一个：C12高低温探针台